【摘 要】
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为了提高980 nm半导体激光器的输出功率并获得较小的远场发散角,在非对称波导结构的基础上设计了 n型波导结构,即在 n型波导中引入高折射率的内波导层。采用理论计算和 SimLa
【机 构】
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长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室
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为了提高980 nm半导体激光器的输出功率并获得较小的远场发散角,在非对称波导结构的基础上设计了 n型波导结构,即在 n型波导中引入高折射率的内波导层。采用理论计算和 SimLastip 软件模拟对常规非对称波导结构和内波导结构进行了研究。利用分子束外延系统生长980 nm 内波导结构的外延材料,并制作了激光器。对于条宽为100μm、腔长为1000μm的器件,阈值电流为97 mA,斜率效率为1.01 W/A；当注入电流为500 mA时,远场发散角为29°（垂直向）×8°（水平
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