【摘 要】
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93-029 海鸥-400型超高真空表面分析装置真空室:装有造成纯真空条件的磁离子泵,极限真空2—5×10~(-10)毫米水银柱;磁离子泵抽气速度400升/秒;不锈钢罩直径250mm;快速阀(同
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93-029 海鸥-400型超高真空表面分析装置真空室:装有造成纯真空条件的磁离子泵,极限真空2—5×10~(-10)毫米水银柱;磁离子泵抽气速度400升/秒;不锈钢罩直径250mm;快速阀(同抽气系统完全隔绝)直径150mm;超高真空样品控制器,X轴和Y轴移动±10mm(±0.05mm)Z轴±20mm(±0.05mm),绕Z轴转动360°(±0.2°)。
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