【摘 要】
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本文针对离子注入工艺的特定要求,采用buck拓扑结构,以IGBT为斩波器件,并结合单片机与CPLD技术,研制了一种低频长脉宽的高压脉冲数字电源。通过离子注入试验并结合工艺研究验
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本文针对离子注入工艺的特定要求,采用buck拓扑结构,以IGBT为斩波器件,并结合单片机与CPLD技术,研制了一种低频长脉宽的高压脉冲数字电源。通过离子注入试验并结合工艺研究验证了该电源的实用性和稳定性。
In this paper, according to the specific requirements of the ion implantation process, using a buck topology, IGBT chopper devices, combined with single chip microcomputer and CPLD technology, developed a low-frequency pulse width high-voltage pulse digital power. Through the ion implantation test combined with the process study to verify the practicality and stability of the power supply.
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