声表面波质量传感器

来源 :传感器技术 | 被引量 : 8次 | 上传用户：ch3

【摘要】

：

在128°Y切割X传播方向上的LiNbO3基片上设计并研制了新型声表面波(SAW)质量传感器。它将输入叉指换能器激发的SAW中心对称分成两路并由各自的输出叉指换能器检测输出。由于环境温度对SAW延迟线振荡器的振荡频率影响较大,传感器的输出不仅决定于质量沉积区所沉积的质量,还决定于测量时所处的环境温度。为此,在SAW质量传感器测量时,同时监测传感器的输入信息质量沉积区的质量和环境温度及其输出频率信息

【作者】

：

章安良朱大中

【机构】

：

宁波大学,浙江大学

【出处】

：

传感器技术

【发表日期】

：

2005年01期

【关键词】

：

声表面波延迟线振荡器信息融合交叉灵敏度 SAW(acoustic surface wave) delay line oscillator inform

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