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针对MEMS平板类零件小型化的问题,提出了模板匹配自动装配的方法。根据装配精度(微米级以下)以及平板类零件具有特定外形的特点,采用亚像素的XLD轮廓形状匹配方法。为解决零件重心点不在零件上的问题,在零件模板上设置一抓取点,并将该点在识别匹配过程中转化到识别零件上。在不规则摆放过程中,不可避免地存在零件层叠现象。通过对匹配识别算子的研究,很好地解决了非全局识别问题,提高了系统识别的鲁棒性。结合试验仿真,对本文提出的方法进行了验证,证明了此方法的可靠性和实用性。