【摘 要】
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以四氯化硅和氢气为原料,利用固定床反应器高温热氢化制备三氯氢硅,研究了反应温度、反应空速、反应压力及原料物质的量的比对三氯氢硅收率的影响。结果表明,在一定条件下,升
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以四氯化硅和氢气为原料,利用固定床反应器高温热氢化制备三氯氢硅,研究了反应温度、反应空速、反应压力及原料物质的量的比对三氯氢硅收率的影响。结果表明,在一定条件下,升高温度,增大压力,降低空速和增加氢气(H2)与四氯化硅(Si Cl4)物质的量的比,有利于增加三氯氢硅收率;但当反应温度、反应压力、氢气与四氯化硅配比增大到某一值或反应空速降低到某一值时,三氯氢硅收率增加不明显甚至有所降低。实验结果表明,四氯化硅高温热氢化制备三氯氢硅较佳工艺条件是反应温度小于1 050℃,反应压力高于0.6 MPa(表压),反应空速不大于1 000 h-1,原料氢气和四氯化硅物质的量的比为4~6。在最佳反应条件下,三氯氢硅收率达到19.81%。
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