【摘 要】
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本文阐述了新型的弧光辉光协同共放电真空镀膜机的设计思想及应用,叙述了镀膜机的整体结构、圆柱靶的设计和磁场模拟、工件篮的结构和辉光弧光共放电的原理。实验对比了辉光
【机 构】
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哈尔滨商业大学包装科学与印刷技术工程实验室,深圳市天星达真空镀膜设备有限公司,
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本文阐述了新型的弧光辉光协同共放电真空镀膜机的设计思想及应用,叙述了镀膜机的整体结构、圆柱靶的设计和磁场模拟、工件篮的结构和辉光弧光共放电的原理。实验对比了辉光弧光共放电和单独的辉光放电、弧光放电在镀膜速度、膜层硬度和耐蚀性等方面的差别,表明了这种新型镀膜机的优越性。
This paper describes the design idea and application of the new arc glow co-discharge vacuum coating machine, describes the overall structure of the coating machine, the design of the cylindrical target and the magnetic field simulation, the structure of the workpiece basket and glow arc co-discharge principle. The experiment compares the difference of glow arc co-discharge and single glow discharge, arc discharge in coating speed, film hardness and corrosion resistance, which shows the superiority of this new coating machine.
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