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TiN系涂层具有高的硬度、耐磨性,低的摩擦系数和良好的化学稳定性,在工模具上获得广泛的应用.多元多层合金化是强化TiN膜的有效途径之一,也是目前研究的热点.本文介绍了几种多元多层TiN薄膜的沉积技术及性能特点,并指出了国内TiN涂层的发展趋势.
Ti-N系涂层多元多层强化研究进展
【摘 要】
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TiN系涂层具有高的硬度、耐磨性,低的摩擦系数和良好的化学稳定性,在工模具上获得广泛的应用.多元多层合金化是强化TiN膜的有效途径之一,也是目前研究的热点.本文介绍了几种
【机 构】
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广东工业大学材料能源学院,深圳市黄金屋真空科技有限公司
【出 处】
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工具技术
【发表日期】
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2004年4期
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