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计量圆光栅动态精度的检测技术
计量圆光栅动态精度的检测技术
来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:imoogi8406
【摘 要】
:
本文探讨了计量圆我栅的精度检测问题,提出了一种新的动态检测方法。它不同于目前普遍采用的标准多面棱体静态检测法,后者只能得到圆光栅静止于圆周内若干等分位置的静态误差,而
【作 者】
:
费斌
范裕健
【机 构】
:
西安交通大学,Eindhoven技术大学
【出 处】
:
仪器仪表学报
【发表日期】
:
1996年5期
【关键词】
:
圆光栅
精度
检测
测角度仪器
计量圆光栅
Grating
Precision
Measurement
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本文探讨了计量圆我栅的精度检测问题,提出了一种新的动态检测方法。它不同于目前普遍采用的标准多面棱体静态检测法,后者只能得到圆光栅静止于圆周内若干等分位置的静态误差,而前者采用频谱分析方法,借助计算机处理,实现对圆光栅动态地,连续测量,最终得到其误差函数。
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