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VIISta 900XP是一款为满足使用亚兆电子伏能量实现N或P型反阱工艺的需求而设计的离子注入设备。设备提高了注入能量的使用上限，并优化了结构能够实现精确的真正零角度的离子注入。VIISta 900XP的产量达到每小时500片．
离子注入设备
【摘 要】
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VIISta 900XP是一款为满足使用亚兆电子伏能量实现N或P型反阱工艺的需求而设计的离子注入设备。设备提高了注入能量的使用上限，并优化了结构能够实现精确的真正零角度的离子注
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2006年3期
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