【摘 要】
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基于光栅衍射的转角法无需转动光管，与传统的转角法相比具有较高的测量效率。而微透镜阵列元件子单元数众多，利用该方法进行测量时，光栅的各级衍射斑可能发生干扰，影响测量精度甚
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基于光栅衍射的转角法无需转动光管，与传统的转角法相比具有较高的测量效率。而微透镜阵列元件子单元数众多，利用该方法进行测量时，光栅的各级衍射斑可能发生干扰，影响测量精度甚至无法进行测量。利用Matlab软件模拟分析测量过程中子单元光栅0级和±1级衍射光斑间的干扰，通过分析测量光源波长、光栅周期、微透镜阵列的子孔径和焦距，选取合理的测量光源和光栅避免干扰，从而完成对微透镜阵列焦距的测量。测量结果表明，该方法具有较高的测量精度和测量效率，可用于单元数较多、F数较小的微透镜阵列焦距测量。
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