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<正> 红外光刻机是电子工业,特别是硅、砷化镓等半导体器件梁式引线制造工艺中不可缺少的一项设备。我们采用国产的元件和材料,试制了一台红外光刻机(图1)。它系台式整体结构,体积较小(约380×350×400毫米),重量约28公斤左右,可以放在净化台中工作。
红外光刻机
【摘 要】
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<正> 红外光刻机是电子工业,特别是硅、砷化镓等半导体器件梁式引线制造工艺中不可缺少的一项设备。我们采用国产的元件和材料,试制了一台红外光刻机(图1)。它系台式整体结构
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所机电工厂
【出 处】
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科学通报
【发表日期】
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1974年08期
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