球磨工艺对SPS烧结Mo-5%Ta合金靶材性能的影响

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采用球磨和放电等离子烧结(SPS)工艺制备了Mo-5%Ta(质量分数,下同)混合粉末及其合金,研究了不同球磨工艺对粉末形貌、粒度及烧结后合金微观结构、硬度及热导率的影响。结果表明:球磨时间和球磨转速均不同程度的改变了原始粉末的团聚现象,但低转速(150 r/min)球磨对粉末形貌的影响相对较小。随着球磨时间的增加,Mo-5%Ta粉末粒度先增大后减小,而随着球磨转速的增加,Mo-5%Ta粉末粒度先减小后增大。球磨后的Mo-5%Ta粉末经SPS烧结所得合金的组织细小均匀,随着球磨时间、球磨转速的增加,合金晶粒尺寸减小,相对密度先增加后降低,维氏硬度(HV0.5)增大,热导率(25°C)无明显变化。当球磨时间为20 h、球磨转速为300 r/min时,烧结样品的相对密度达到99.19%、晶粒尺寸为5.73μm、维氏硬度(HV0.5)为241.67及热导率(25°C)为159.34 W/(m·K)。
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