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讨论了ＭＯＣＶＤ外延膜Ｘ射线衍射摇摆曲线中干涉指纹的各种特征。指出了由干涉指纹测定薄膜最度的精确性。研究了影响干涉指纹的，为正确识辨材料结构和改进生长工艺提供方便。
InGaAsp／InP异质外延材料X射线衍射摇摆曲线中的干涉指纹
【摘 要】
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讨论了ＭＯＣＶＤ外延膜Ｘ射线衍射摇摆曲线中干涉指纹的各种特征。指出了由干涉指纹测定薄膜最度的精确性。研究了影响干涉指纹的，为正确识辨材料结构和改进生长工艺提供方便。
【机 构】
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武汉电信器件公司,武汉工业大学,原武汉邮科院器件所
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1995年5期
【基金项目】
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湖北省自然科学基金
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