溶胶-凝胶法制备的BaTiO3薄膜表面态

来源 :应用科学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chuhai

【摘要】

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用溶胶-凝胶法和快速退火工艺在SiO2/Si（111）基片上生长了钙钛矿结构BaTiO3薄膜.用X射线光电子能谱技术（XPS）和角分辨X射线光电子能谱技术（ARXPS）研究了薄膜的表面化学态以及最顶层

【作者】

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陈海涛胡界博娄辉蔡洪涛丁玲红张伟风

【机构】

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河南大学物理与信息光电子学院

【出处】

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应用科学学报

【发表日期】

：

2006年4期

【关键词】

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溶胶-凝胶法 BaTiO3薄膜表面态 XPS ARXPS sol-gel process BaTiO3 thin film surface state

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用溶胶-凝胶法和快速退火工艺在SiO2/Si（111）基片上生长了钙钛矿结构BaTiO3薄膜.用X射线光电子能谱技术（XPS）和角分辨X射线光电子能谱技术（ARXPS）研究了薄膜的表面化学态以及最顶层的原子种类和分布状况,结果显示在热处理过程中薄膜表面形成一层富含BaO的非计量钛氧化物层,并且钡-钛原子浓度比随着探测深度的增大而逐渐减小.

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