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在化学，冶金和电子工业中，许多工艺气都含有微量的氧，如不脱除，会造成下游催化剂或产品中毒，因此，微量氧的脱除十分重要。脱氧的方式包括物理脱氧和化学脱氧，物理法包括:真空脱氧、大气式热力脱氧、精馏、吸附、膜分离、解吸附等。化学法脱氧分为化学吸收(吸附)脱氧，利用氧与活性炭等脱氧剂反应生成二氧化碳脱氧，利用变价氧化物类还原剂脱氧、催化加氢脱氧等，本文主要对各类化学脱氧剂的特点及在工业中的应用进行论述。结果表明，各种类型的脱氧剂各有其技术特点:在实际应用中，应综合考虑工艺气体种类，对脱氧精度的要求以及杂质对脱氧剂的影响等从而选择最佳类型的脱氧剂，达到既净化气体又节约成本的目的。