【摘 要】
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中空热阴极放电等离子体电子束装置(以下简称空心枪),它具有工作真空度低(10~(-3)～10~(-1)托)工作电压低(
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中空热阴极放电等离子体电子束装置(以下简称空心枪),它具有工作真空度低(10~(-3)～10~(-1)托)工作电压低(<100伏),电流大,且易调节、结构简单、操作方便,价格便宜等显著特点,因此,它在真空冶炼,真空热处理以及真空离子镀膜等领域内,获得了广泛的应用。
Hollow hot cathode discharge plasma electron beam device (hereinafter referred to as hollow gun), which has a working vacuum low (10 -3 to 10 -1 Torr) low operating voltage (<100 V), large current, It is widely used in the fields of vacuum smelting, vacuum heat treatment and vacuum ion plating because of its easy adjustment, simple structure, convenient operation and low price.
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