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采用一种无耦合、三轴精确定位的纳米运动平台作为扫描器,研制了一种新型原子力显微镜（AFM）。该AFM有效消除了通常使用的单管式压电陶瓷扫描器扫描过程中运动耦合产生的两种结构误差——交叉耦合误差和扫描范围误差,极大提高了纳米测量及操作的精度。
基于纳米运动平台的原子力显微镜开发
【摘 要】
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采用一种无耦合、三轴精确定位的纳米运动平台作为扫描器,研制了一种新型原子力显微镜（AFM）。该AFM有效消除了通常使用的单管式压电陶瓷扫描器扫描过程中运动耦合产生的两种结
【机 构】
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中国科学院沈阳自动化研究所,中国科学院研究生院,美国密西根州立大学电子与计算机工程系
【出 处】
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高技术通讯
【发表日期】
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2007年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金（60575060）及辽宁省优秀青年科研人员培养基金项目（3050002）资助.
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