超细SiC片晶的制备方法

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超细SiC片晶由于其高强度、高弹性模量和高导热系数已成为替代价值昂贵、制备技术复杂的SiC晶须的理想的增韧材料SiC片晶的制备方法有化学制备法和机械制备法。本文中详细介绍了用机械方法制备SiC片晶的设备与工艺过程,阐述了各种制备方法的工作原理及其优缺点,通过对各种制备方法的比较得出采用气流磨与分级机结合工艺是目前制备系列超细SiC片晶有效的和最经济的生产工艺。
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