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建立一个金刚石薄膜生长条件下气相反应的化学模型，并对之进行了基于第一原理的动力学反应速度常数计算。结果表明，该模型所预言的气相浓度分布与实验定性一致，温度下限与实验的衬底表面温度定量一致
金刚石薄膜生长条件气相反应的动力学分析
【摘 要】
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建立一个金刚石薄膜生长条件下气相反应的化学模型，并对之进行了基于第一原理的动力学反应速度常数计算。结果表明，该模型所预言的气相浓度分布与实验定性一致，温度下限与实验的
【机 构】
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吉林大学理论化学研究所 原子与分子物理研究所
【出 处】
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计算物理
【发表日期】
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1996年04期
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