【摘 要】
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研究了一种高温质子交换制备铌酸锂光波导的工艺技术，质子源是稀释的苯甲酸熔融液，通过提高蒸气压的方法实现了350℃质子交换，X线衍射测试表明波导层具有单纯的a相结构。采用该
【机 构】
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上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海理工大学教育部光学仪器与系统工程研究中心,上海理工大学上海市现代光学系统重点实验室
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研究了一种高温质子交换制备铌酸锂光波导的工艺技术，质子源是稀释的苯甲酸熔融液，通过提高蒸气压的方法实现了350℃质子交换，X线衍射测试表明波导层具有单纯的a相结构。采用该技术实验制备了铌酸锂Y分支波导，报告了波导单模特性的测试判断方法，研究了控制波导单模传输的工艺环节。测试表明，试制样品在1310nm和1550nm波长下具有良好的单模传输特性。
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