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给出了基于PSD(position sensing detector)传感器的弯曲度测量系统的基本硬件结构.分析了电路系统引起的系统误差和随机误差,提出了采用内插、曲线拟合、动态调零等技术消除电路部分系统误差及采用滤波抑制随机误差的处理方法.分析了机械系统由于机械加工、机械装配引起的系统误差,建立了误差模型,提出了通过最小二乘法求解误差参数和修正测量结果的误差处理方法.