电子束蒸发镀膜反应室内的等离子体空间分布

来源 :华南师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：roseis

【摘要】

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利用Langmuir探针诊断方法,得到了放电气压0.1Pa、射频13.56MHz、功率200W、加速栅压-200V和减速栅压+85V条件下,电子束蒸发镀膜反应室内的等离子体空间密度分布,以及不同放

【作者】

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蒙高庆陈俊芳向鹏飞熊予莹吴先球符斯列

【机构】

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华南师范大学物理与电信工程学院

【出处】

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华南师范大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2005年02期

【关键词】

：

TCP Langmuir探针电子束蒸发镀膜

【基金项目】

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高等学校博士学科点专项科研基金资助项目([2004]165);广东省自然科学基金资助项目(000675)

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利用Langmuir探针诊断方法,得到了放电气压0.1Pa、射频13.56MHz、功率200W、加速栅压-200V和减速栅压+85V条件下,电子束蒸发镀膜反应室内的等离子体空间密度分布,以及不同放电气压和不同偏压下反应室内的等离子体密度分布.通过对反应室中等离子体空间分布的分析,得到离子密度均匀区域、合适的反应气压和合适的加速栅电压、减速栅电压范围.

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