X射线超反射镜的设计与制备

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【摘要】

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介绍了一种可用于X射线成像望远镜中的高能X射线反射元件的设计和制备.结合Spiller和Yamamoto方法选择了W、C作为膜层材料,用Yamshita设计方法给出初始膜系,经单纯形调优算法

【作者】

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王风丽张众吴文娟王利王占山秦树基陈玲燕

【机构】

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同济大学精密光学工程技术研究所

【出处】

：

光学仪器

【发表日期】

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2004年2期

【关键词】

：

宽波段超反射镜单纯形调优粗糙度磁控溅射 X射线成像望远镜 X射线超反射镜设计制备 broadband supermirror simplex opti

【基金项目】

：

国家自然科学基金，上海市科技发展基金

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介绍了一种可用于X射线成像望远镜中的高能X射线反射元件的设计和制备.结合Spiller和Yamamoto方法选择了W、C作为膜层材料,用Yamshita设计方法给出初始膜系,经单纯形调优算法设计出掠入射角为8.7mrad时,对波长范围在0.0475nm～0.0886nm范围内的X射线计算反射率达21%宽波段X射线超反射镜.样品采用高精度磁控溅射方法制备,并用X射线衍射仪(XRD)测得在8.7mrad～15.7mrad内反射率为15%左右.

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