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第十六讲真空系统的操作与维护
第十六讲真空系统的操作与维护
来源 :真空 | 被引量 : 0次 | 上传用户:journey88
【摘 要】
:
(上接2009年第5期88页)rn表13简单列出扩散泵高真空系统减少泵液等污物污染的方法.
【出 处】
:
真空
【发表日期】
:
2009年6期
【关键词】
:
高真空系统
操作
维护
vacuum systems
maintenance
物污染
扩散泵
方法
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(上接2009年第5期88页)rn表13简单列出扩散泵高真空系统减少泵液等污物污染的方法.
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