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本文介绍了单晶硅的基本概念和用途,并对单晶硅的几种主要制备方法做了简单介绍。同时结合生产实际经验,对单晶硅中的主要杂质——氧,提出了几种控制方法。
单晶硅生长技术及氧缺陷控制方法
【摘 要】
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本文介绍了单晶硅的基本概念和用途,并对单晶硅的几种主要制备方法做了简单介绍。同时结合生产实际经验,对单晶硅中的主要杂质——氧,提出了几种控制方法。
【机 构】
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宁夏建设职业技术学院
【出 处】
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中小企业管理与科技(下旬刊)
【发表日期】
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2015年10期
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