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研究了表面涂覆草酸钇薄膜对氮化铝（ＡｌＮ）粉耐水性的影响。结果显示：涂膜后ＡｌＮ粉在１００℃沸水中回流４５ｍｉｎ不与水反应，温度降至７８℃时可耐水３ｈ以上；耐水时间随涂覆量增加而增加，随温度升高而下降。水分子通过薄膜的扩散过程是影响ＡｌＮ耐水性的决定因素。用Ｘ光电子能谱（ＸＰＳ）和红外光谱测定了表面草酸钇与ＡｌＮ界面形成的化学键。