【摘 要】
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中国科学院光电技术研究所,是中国科学院在西南地区规模最大的研究所,2001年整体进入中国科学院知识创新工程.rn微光学与微电子光学装备研制是中国科学院光电技术研究所的重
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中国科学院光电技术研究所,是中国科学院在西南地区规模最大的研究所,2001年整体进入中国科学院知识创新工程.rn微光学与微电子光学装备研制是中国科学院光电技术研究所的重点学科之一,不仅拥有一支总体设计水平高,光、机、电配套,积累了丰富经验的科研队伍,还拥有一支实力雄厚的试制加工、工艺和测试力量,为研发、生产和拓展微电子装备技术领域奠定了坚实的基础.
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