Synthesis and Electrical Characterization of BaTiO3 Thin Films on Si(100)

来源 :材料科学与应用期刊(英文) | 被引量 : 0次 | 上传用户：ctbt010

【摘要】

：

BaTiO3 thin film has been deposited on Si(100) substrate using sol-gel process and deposited by using spin – coating technique. The BaTiO3/Si(100) structures w

【作者】

：

V. R. Chinchamalatpure S. A. G

【机构】

：

不详

【出处】

：

材料科学与应用期刊(英文)

【发表日期】

：

2010年4期

【关键词】

：

SOL-GEL Technique BATIO3 THIN Film C-V I-V Sol-Gel Technique BaTiO3 Thin Film C-

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BaTiO3 thin film has been deposited on Si(100) substrate using sol-gel process and deposited by using spin – coating technique. The BaTiO3/Si(100) structures were studied by structural and electrical characteristics. The X-ray diffrac-tion of BaTiO3/Si(10

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