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本文的主要目的是通过具体示例的详细讲解,来降低自制扫描探针显微镜的门槛。本文用简约易懂的LabVIEW编程实现了复杂的扫描探针显微镜的控制与图像处理的功能。本控制程序由三大模块用顺序结构完成。它们分别是设备初始化模块、扫描控制与显像模块和设备安全关机模块。控制程序中最复杂、最关键的扫描控制与显像模块采用完全并行处理的方式实现。这种模块化设计,使主控程序简单明了;既方便修改又方便维护。并行处理模块主要有扫描区域调整与像素调整模块、Y方向扫描控制模块、X方向扫描控制与图像传输模块、扫描过程中参数再调整模块、扫