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双金属效应是一种基本的物理效应，这一效应在硅微机装置上应用，有力地弥补了硅材料不具备压电效应，电信号难以直接转换为机械驱动力的缺陷，本文将介绍我们研制的铝硅双金属膜片，膜片尺寸为４ｍｍ×４ｍｍ×（２０μｍ单晶硅＋１０μｍ金属铝），实验和分析结果表明，铝硅双金属膜片具有优越的力学特性，能提供足够大的动力和位移，这种集成和单片驱动结构不仅在材料及工艺上与ＩＣ工艺完全兼容，而且通过调整有关结构参数及工艺