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采用直流磁控溅射冷凝原位加压方法制备纳米固体钼和氮化二钼，并对其结构和性能进行了初步研究。
纳米固体钼和氮化二钼的制备,结构和性能
【摘 要】
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采用直流磁控溅射冷凝原位加压方法制备纳米固体钼和氮化二钼，并对其结构和性能进行了初步研究。
【机 构】
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中国科学院固体物理研究所
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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1994年5期
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