【摘 要】
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在不同氧分压奈件下对WO3粉末靶进行磁控溅射，在ITO导电玻璃基底上沉积得到WO3薄膜。分析发现，当氧分压O2：Ar为1：10的时，WO3薄膜的显微组织均匀细密，薄膜原态的透光率可达88％。将WO3
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在不同氧分压奈件下对WO3粉末靶进行磁控溅射，在ITO导电玻璃基底上沉积得到WO3薄膜。分析发现，当氧分压O2：Ar为1：10的时，WO3薄膜的显微组织均匀细密，薄膜原态的透光率可达88％。将WO3薄膜作为不同电极在LiCIO4溶液中进行电色反应，发现着色态透光率在紫光区可达41％，在整个红外区透光率最高不过25％；而漂白态在紫光区可达85％，在整个红外区透光率在82％左右。采用XPS光电子能谱研究了WO3薄膜的电致变色机理，发现遵循典型的双离子注入模型。
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