CVD金刚石膜电火花抛光的机理研究

来源 :电加工与模具 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zzqeng
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提出了一种用电火花加工法抛光CVD金刚石膜的新工艺,并对其加工去除机理进行了初步探讨.实验表明,不同的涂覆金属都对蚀除过程产生影响,加工中材料表面的石墨化是金刚石膜得以去除的重要因素.
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