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回顾了我国集成电路产业的发展历程，介绍了自“六五”以来电子特种气体攻关和产业化成绩，指出石油化工企业用标准气市场潜力巨大。
我国特种气体产业的发展
【摘 要】
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回顾了我国集成电路产业的发展历程，介绍了自“六五”以来电子特种气体攻关和产业化成绩，指出石油化工企业用标准气市场潜力巨大。
【机 构】
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化工部光明化工研究设计院;
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1998年04期
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