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本文介绍了真空下各种镀膜技术的基本概念,讨论了各种镀膜装置的镀膜方式、特点和应用及真空镀膜技术的发展现状及趋势。
真空镀膜技术的现状及发展
【摘 要】
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本文介绍了真空下各种镀膜技术的基本概念,讨论了各种镀膜装置的镀膜方式、特点和应用及真空镀膜技术的发展现状及趋势。
【机 构】
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北京大学化学与分子工程学院
【出 处】
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现代仪器
【发表日期】
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2000年06期
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