【摘 要】
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阐述了有机硅烷的种类和钝化机理,指出了影响硅烷成膜的主要因素,并对硅烷钝化的研究进展进行了介绍。认为采用复配技术,在硅烷中添加缓蚀剂、纳米粒子等添加剂,应是硅烷钝化
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阐述了有机硅烷的种类和钝化机理,指出了影响硅烷成膜的主要因素,并对硅烷钝化的研究进展进行了介绍。认为采用复配技术,在硅烷中添加缓蚀剂、纳米粒子等添加剂,应是硅烷钝化的主要研究方向。
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