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通过键合温度220～250℃、键合电压400～600V的硅玻璃低温阳极键合实验,分析了温度和电场分别对键合强度和键合效率的影响,并讨论了键合机理.
低温阳极键合技术研究
【摘 要】
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通过键合温度220～250℃、键合电压400～600V的硅玻璃低温阳极键合实验,分析了温度和电场分别对键合强度和键合效率的影响,并讨论了键合机理.
【机 构】
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中国科学技术大学
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2005年9期
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