【摘 要】
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电容式微加速度计的电学参数校准和标定产品制造过程中,通过对标度因数的定标过程能确保传感器输出的线性度。采用MS3110微小电容读取电路,根据其输出函数的要求,只要确定Cs1
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电容式微加速度计的电学参数校准和标定产品制造过程中,通过对标度因数的定标过程能确保传感器输出的线性度。采用MS3110微小电容读取电路,根据其输出函数的要求,只要确定Cs1,Cs2,Cf3个电容值,通过（1,0,-1 gn）三点即能确定标度因数（SF）和偏置电压,这样就实现了电容式微加速度计的标度因数自动标定。实验结果表明：通过多次自动定标,传感器标度因数的相对误差为0.79%。
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