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对Ａｒ气氛下射频溅射所镀铬钼合金膜，订不同组分配比的俄歇电子能谱，经平滑，扣除本底处理，得出随铬钼对比例改变的变化规律。根据俄歇电子跃迁的准原子模型，对谱峰进行血线拟合，得出铬钼合金膜并各相的单纯机械混合，基金上层电子发生了某种转移，利用高斯曲线对所得俄歇峰按成分比进行面积归一化，细致分析后得出钼的Ｎ２３轨道电子数增多，钼的Ｍ４５，Ｎ１，Ｎ２３和价带发生变化及移动，并且有一些３ｄ电子从Ｃｒ转移到Ｍ