粉末冶金高纯铬和铬合金溅射靶材烧结工艺研究

来源 :金属成形工艺 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wende198
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介绍了不同加工方式对铬靶烧结密度的影响。在机压过程中,采用双向压制,不添任何成型剂和脱氧剂。机压+真空烧结铬环靶材密度为78%~80%;冷等静压+真空烧结铬板靶材密度大于82%;而经轧制后,铬板靶材密度提高到90%~95%;铬合金靶材采用热压方式,其密度大于98%。通过优化烧结时间和烧结温度等工艺参数,铬环靶材的烧结成本大大降低。
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