【摘 要】
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研究了在化学喷射法制备ＳｎＯ２透明电热膜中，掺杂浓度、反应温度、退火工艺及喷射参数对电热膜光电性能的影响。结果表明在４００～６００℃、Ｓｂ３＋掺杂浓度在０１％～０４％之间，可获得透光率＞８５％，面电阻１００～１５０Ω的ＳｎＯ２透明电热膜
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研究了在化学喷射法制备ＳｎＯ２透明电热膜中，掺杂浓度、反应温度、退火工艺及喷射参数对电热膜光电性能的影响。结果表明在４００～６００℃、Ｓｂ３＋掺杂浓度在０１％～０４％之间，可获得透光率＞８５％，面电阻１００～１５０Ω的ＳｎＯ２透明电热膜。
The effects of doping concentration, reaction temperature, annealing process and injection parameters on the electro-optical properties of electro-thermal films were investigated in a SnO2 transparent electrothermal film prepared by chemical spraying. The results show that at 400 ~ 600 ℃, the doping concentration of Sb3 + is between 0.1% and 0.4%, the transparent SnO2 film with transmittance of more than 85% and surface resistance of 100 ~ 150Ω can be obtained.
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