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在CMOS标准工艺和压阻器件经典工艺的基础上,通过两者合理的工艺组合,将以大量程流量计为代表的压阻器件与相关的调理电路集成在一个硅片上.测试结果表明,在集成工艺流程下,CMOS的单管特性和放大电路的闭环特性均正常工作.
CMOS电路与大量程流量计的单片集成
【摘 要】
：
在CMOS标准工艺和压阻器件经典工艺的基础上,通过两者合理的工艺组合,将以大量程流量计为代表的压阻器件与相关的调理电路集成在一个硅片上.测试结果表明,在集成工艺流程下,C
【机 构】
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北京大学
【出 处】
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中国机械工程
【发表日期】
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2005年z1期
【基金项目】
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国家863高技术研究发展计划资助项目(2004AA404220),国家自然科学基金资助项目(90207013)
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