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PANI修饰PdPc有机半导体膜制作及其气敏特性分析
PANI修饰PdPc有机半导体膜制作及其气敏特性分析
来源 :科技信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:luffyzero88
【摘 要】
:
利用涂膜工艺在平面电极上制作了酞菁钯(PdPc)掺杂聚苯胺(PANI)薄膜元件,用静态酣气法对0.01%浓度Cl2进行气敏特性测试。结果表明,掺杂比为5:1的复合膜具有很好的敏感性。SEM显示其具
【作 者】
:
项金娟
殷景华
施云波
【机 构】
:
哈尔滨理工大学应用科学学院,哈尔滨理工大学测试技术与通讯工程学院
【出 处】
:
科技信息
【发表日期】
:
2007年2期
【关键词】
:
涂膜
PdPc
气敏特性
film coating
PdPc
sensitive characteristic
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利用涂膜工艺在平面电极上制作了酞菁钯(PdPc)掺杂聚苯胺(PANI)薄膜元件,用静态酣气法对0.01%浓度Cl2进行气敏特性测试。结果表明,掺杂比为5:1的复合膜具有很好的敏感性。SEM显示其具有良好的吸附和脱附性能,并对其敏感机理进行了初步讨论。
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