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掺杂对SnO_2薄膜性能影响研究
掺杂对SnO_2薄膜性能影响研究
来源 :北京建筑工程学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mikezhai128
【摘 要】
:
SnO2薄膜具有良好的光学特性,优良的气敏特性越来越受到人们的普遍重视,本文就各种掺杂对SnO2薄膜性能的影响进行了综合评述,并探讨了掺杂作用机理。
【作 者】
:
马黎君
魏京花
【机 构】
:
基础部
【出 处】
:
北京建筑工程学院学报
【发表日期】
:
2001年2期
【关键词】
:
二氧化锡膜
掺杂
性能
薄膜
SnO2 films doping property
【基金项目】
:
北京建筑工程学院基础科学基金
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SnO2薄膜具有良好的光学特性,优良的气敏特性越来越受到人们的普遍重视,本文就各种掺杂对SnO2薄膜性能的影响进行了综合评述,并探讨了掺杂作用机理。
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