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期刊论文
相变型热驱动微泵的泵送机理研究
相变型热驱动微泵的泵送机理研究
来源 :机械科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tangguorong
【摘 要】
:
在简化模型的基础上,对泵送特性进行了理论分析,得到了关于泵送流量的耦合方程组,并通过数值计算对不同加热和冷却条件下的泵送流量关系进行了模拟.模拟结果与实验结果吻合较
【作 者】
:
王沫然
李志信
谭立彦
【机 构】
:
清华大学
【出 处】
:
机械科学与技术
【发表日期】
:
2002年6期
【关键词】
:
MEMS
相变型热驱动微泵
泵送机理
MEMS
Micropump
Phase transformation type micropump
Pumping
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在简化模型的基础上,对泵送特性进行了理论分析,得到了关于泵送流量的耦合方程组,并通过数值计算对不同加热和冷却条件下的泵送流量关系进行了模拟.模拟结果与实验结果吻合较好,验证了模型的合理性.同时也证明,此相变型热驱动微泵的泵送机制主要来自于气体段的气塞作用及气液间巨大的密度差异.
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