微电子技术发展趋势

来源 :微电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：miaohaikun0

【摘要】

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1引言微电子技术，基于其重要的战略地位，工业发达国家和后起发展中国家和地区都视之为技术的制高点而拼力争夺，从而导致其持续高速发展。展望未来，传统领域的新推进或新突破仍将

【作者】

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李达

【机构】

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上海市电子仪表科技情报研究所!上海,200030

【出处】

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微电子技术

【发表日期】

：

1998年6期

【关键词】

：

微电子技术速度性能多媒体芯片微细加工技术晶片集成晶体管非易失性存储器半导体存储器离子注入机微电子机械系统(MEMS)

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1引言微电子技术，基于其重要的战略地位，工业发达国家和后起发展中国家和地区都视之为技术的制高点而拼力争夺，从而导致其持续高速发展。展望未来，传统领域的新推进或新突破仍将出现，一些新领域的研究开发也将取得重大进展。2深亚微米技术的突破目前，200Inxn晶圆片、0．35mp技术已达到批量生产能力，使这种技术的16Mb－32MbDRAM已成为存储器市场上的主流产品。为了适应技术发展和市场需要，业界近年主要致力于深亚微米（主要是0．25mp和0．18mp）技术的开发，采用这种技术的256MbDRAM和IGhDM

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