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研制成功了一台使用光学偏转法检测的原子力显微镜，通过对云母，光栅，光盘等样品的观测证明仪器达到原子分辨率，最大扫描范围可达７μｍ×７μｍ。文中将对这台原子力显微镜的原理，结构及一些应用结果进行讨论。
原子力显微镜
【摘 要】
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研制成功了一台使用光学偏转法检测的原子力显微镜，通过对云母，光栅，光盘等样品的观测证明仪器达到原子分辨率，最大扫描范围可达７μｍ×７μｍ。文中将对这台原子力显微镜的原理，结构
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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1995年1期
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