【摘 要】
：
介绍了将经典抛光方法与数控加工技术有机结合的多模式组合抛光技术。描述了多模式组合抛光的关键技术之一,材料去除率仿真模型的建立方法。通过设置抛光盘因子和元件因子,多
【机 构】
：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室,中国科学院研究生院
【基金项目】
：
中科院第三期知识创新工程资助项目
论文部分内容阅读
介绍了将经典抛光方法与数控加工技术有机结合的多模式组合抛光技术。描述了多模式组合抛光的关键技术之一,材料去除率仿真模型的建立方法。通过设置抛光盘因子和元件因子,多模式组合抛光的材料去除模型不仅包含抛光模式、速度等加工参数,还将抛光模形状、边角效应、元件面形误差等因素对材料去除的影响一并考虑入内,可以根据抛光阶段的不同,选择不同的仿真精度。实验发现,多模式组合抛光可以显著提高加工效率,并且具有较好的对中频误差的抑制和修正能力。多模式组合抛光目前的应用水平大致为球面、平面元件的面形误差达到20 nm(rms),非球面元件的面形误差达到30~40 nm(rms)左右。结果表明,多模式组合抛光在大口径元件的光学加工方面具有较强的适用性和很大的发展空间。
其他文献
逆变电源系统结构特殊且具有较强的非线性和参数时变性,尤其在非线性负载下采用常规控制难以获得理想的控制效果。本文将一种自适应模糊控制方法应用到单相正弦波逆变电源的
财政政策、货币政策与产业政策三大政策并用,是我国推动经济发展的重要特征之一。2008年以来,中国政府为应对金融危机,实施了一系列宏观调控措施以稳定经济增长与治理通货膨
分析了"日盲"紫外增强型电荷耦合装置(SBUV-ICCD)噪声的来源及特点。考虑SBUV-ICCD工作时系统增益高,单光电子的响应会扩散到CCD邻近像素中去,故将SBUV-ICCD作为线性时不变系
目的通过总结颞下颌关节腔内注射透明质酸钠的临床随机对照试验,评价其治疗颞下颌关节结构紊乱的有效性与安全性。方法明确探究透明质酸钠治疗颞下颌关节结构紊乱的有效性与
刑事申诉是公民认为司法机关在刑事诉讼活动中的职权行为侵害了其合法权益,从而向国家机关提出申诉,请求予以重新处理的权利和活动。刑事申诉是当事人的一项重要权利,当事人
<正>矛盾品牌是矛盾人经过五十多年的奋斗打造出来的区域知名品牌。2000年以前,在河南及周边数省,提起矛盾几乎家喻户晓。但2002年以后,由于激烈的市场竞争和管理不善,导致品
本文结合福建省罗源县石粉蒸压砖工艺生产实践,系统地研究了利用石材业花岗岩废弃物生产石粉蒸压砖的生产工艺,并对生产高强度、高质量石粉蒸压砖的工艺配方及关键工艺控制点
在结构——功能论的分析框架下,保险合同法定解除的效果应当以矫正投保方违约或者客观情事变化所破坏的平衡为指导,去除投保方多获取的利益,对保险人的合理利益受损提供救济
对建筑施工现场常见的事故类别进行了分析,阐述了各类事故产生的原因,并根据建筑施工现场常见的事故类型提出了一些安全管理对策,为建筑施工安全管理人员提供了一定指导。