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高纯安全系统特气柜主要用于电子、化工、制药等生产线上。文章对高纯安全系统特气柜进行了设计,主要包括气路主系统、抽真空系统、吹扫供气系统、柜体设计等。
高纯安全系统特气柜机械系统设计
【摘 要】
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高纯安全系统特气柜主要用于电子、化工、制药等生产线上。文章对高纯安全系统特气柜进行了设计,主要包括气路主系统、抽真空系统、吹扫供气系统、柜体设计等。
【机 构】
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信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司
【出 处】
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科技创新与应用
【发表日期】
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2016年20期
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